化学和CVD设备
微波等离子体石墨烯制备设备
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法具有低温生长、基底材料选择广泛、容易掺杂等优点,是大面积、高速率、高质量石墨烯制备的首选。



氧化石墨烯由于氧原子的存在以及碳原子平面的破坏导致微波吸收效果很差,在微波剥离还原的过程中耗时耗能同时还原效果也不好。但是,一旦投入痕量的鳞片石墨粉,在微波环境下可以迅速激发微波等离子体的产生,形成局部超高能环境,从而获得高效还原并且实现部分缺陷自修复的高品质石墨烯
     
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